日本UNION非接觸式測(cè)量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測(cè)量顯微鏡，X、Y工作臺(tái)行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍數(shù)由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的精度，Z軸對(duì)焦采用一磚利光學(xué)“裂像指示器”，結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌，可測(cè)范圍25 mm，精度高達(dá)1μm，配合特殊附件，測(cè)量分解度更可達(dá)0.5μm或0.1μm。
非接觸式測(cè)量顯微鏡
對(duì)焦清楚后如下圖：
應(yīng)用實(shí)例：
技術(shù)規(guī)格：
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型 號(hào)
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DH II
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工作臺(tái)行程mm
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50×50
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100×100
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100×200
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150×150
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150×300
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300×300
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500×500
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Z軸測(cè)量范圍
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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X、Y、Z軸數(shù)顯分解度
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0.001mm
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Z軸讀數(shù)裝置
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內(nèi)置數(shù)顯表／外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
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反射照明系統(tǒng)
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內(nèi)置LED／外置冷光源
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標(biāo)準(zhǔn)目鏡
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NWF10X
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標(biāo)準(zhǔn)物鏡（W.D.12mm）
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PLM10X
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讀數(shù)系統(tǒng)
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簡(jiǎn)易座標(biāo)讀數(shù)器
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多功能數(shù)據(jù)處理器
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測(cè)量軟件電腦系統(tǒng)
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選購(gòu)物鏡
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PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
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